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直线栅尺 | 机床加工的准确,还得看它

发布日期:2020年10月23日    浏览次数:103

直线栅尺为广大加工机行业所熟知,经常被应用于数控机床及高精度测量设备上,来检测直线位移或是角度位移。

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作为一把“尺子”,直线栅尺自身的精度固然决定了数控机床的品质。在车床、铣床等通用机床,以及包括专有设备在内的所有机床、专业机械、半导体制造装置,精密测量仪器等方面,直线栅尺已经逐步替代了传统的刻度盘定位操作,大幅提高了机器的工作效率。
2三丰CMM均采用自社研发的栅尺
保证高精度测量





直线栅尺的应用






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半导体装置
用于切割锯的定位
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02

曝光装置
用于扫描台的定位
4


03

电子显微镜
用于掩膜的观测/电路图案的测长等
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04

各种NC机床
用于高精度全闭环控制
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05

电子元件安装机
用于电子元件的高速、高精度安装
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06

FPD检查装置

用于缺陷检查、修复定位
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栅尺的一条龙生产





三丰栅尺在日本宇都宫事业所的清原生产部一条龙生产,这里集线性编码器用玻璃栅尺的制造、电装部件的组装、产品的组装、检查于一身,并运用这一优势,不断地推进栅尺的高精度化和质量的提升。


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清原生产部的地下研究楼

具备高精度刻度加工、精密测量所需要的环境


利用清原稳固的地基和地下9m稳定的环境特性,可以大限度抑制全年温度、湿度的变化和外部振动的传播。在这栋研究楼中开展的标准刻度的制作、相关精度评估及各种研究,是线性栅尺的精度、品质的保障。






三丰栅尺的高信赖性





线性编码器的精度保证,需要高度可靠的评估系统。

清原生产部的地下研究楼内设有自主开发的很高精度测长机,作为线性编码器评估系统,该设备不仅拥有地下稳定的周围环境,而且实现了激光干涉测长光路的真空化,大限度排除了不确定性因素。

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高可靠度的评估系统


该设备的误差达到高水平,这在国际间的相互比较中也得到了确认。凭借高超的技术水平,曾荣获2004年度精密工学会论文奖、2005年度发那科FA机器人财团FA论文奖。



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