光栅式测微仪的测量原理：

采用光电式透射型线性编码器光栅式测微仪的检测器在20μm间距刻度的主尺和指示尺之间，光源(LED)和受光元件(光电二极管)彼此相对。光栅式测微仪的主尺和指示光栅(20μm间距)位于彼此相对的光源(LED)和检测器(光电二极管)之间。当光栅尺相对检测器移动时，透过指示光栅窗口的光线强度连续变化。同时，输出两个同步的正弦波信号形成90º相位差。这些信号被放大和分离(使用插入的附加波形)，并以0.1μm、0.5μm、1μm和5μm波长的方波信号输出。