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LGH高精度光栅式测微仪0.01/0.05分辨力


  • 在10mm的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005µm或0.01µm的高分辨力和高精度。
    紧凑型的机身使得装置本身小型化,不仅可以作为高精度部件的测量以及高精度定位 · 控制装置长度测量的传感器,还适用于作为各种测量机的标准规。
    具有低测力规格产品 :根据用途可以选择低测力规格,可以测量易变形工件和高性能胶片等。
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