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光栅式测微仪应用案例——半导体零部件

发布日期:2024年07月31日    浏览次数:2573

        光栅式测微仪也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪,是以光栅副作为测量元件,将线位移量转换为光电信号,经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器。

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光栅式测微仪是一种接触式精密传感器,今天小编以半导体制造工程为例,“图说”光栅式测微仪的测量应用和测量原理。


应用案例


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1、辊缝检测

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2、基板厚度的检测

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3、芯片平行度的检测

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4、FPD基板的多点检测

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5、测量压接端子的铆合高度

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6、复印机部品的平行度检测

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