ABF载板制造中,为什么“看得见”比“做得出”更难?
AI算力需求的强劲爆发,正推动半导体先进封装向更高密度、更高带宽、更高可靠性快速演进。随着芯片之间的数据传输日趋密集,ABF载板也不再只是“承载芯片”的基板,而是影响算力芯片性能释放的重要基础部件。

ABF载板的制造难点,不仅在于“做出来”,更在于要在极低误差下稳定完成超多层、超精密结构的构建,它就像在一张薄纸里铺设几十层高速公路,每一层都不能堵车、不能串线、不能变形。
随着线宽线距缩小、Via孔径变细、层数持续增加,任何一层偏位、变形或表面异常,都可能影响后续制程和最终良率。这也让ABF载板的检测角色,从传统的“抽检确认”升级为“过程控制”的关键环节。
DAHONG
|搭载近红外光镜头的
影像测量仪QUICK VISION-NIR系列
ABF基板因其绝缘层间材料的特性,传统检测往往需要破坏样品才能进行抽检,不仅增加工序与成本,也无法实现100%全检,难以准确无损地评价绝缘层下方Cu Pad的位置、激光微孔(Via)的偏差以及芯片(Die)的位置等关键指标。

QUICK VISION-NIR系列能较好地解决此类难题。近红外光可以直接透过层间材料确认Die的位置,从而避免了激光开孔所产生的繁琐工序,大大提高了测量效率,是评价绝缘层间材料的有力助手。

通过观察以下评价Via偏差时的画面,不难发现,相较于普通影像测量仪,搭载了近红外光镜头的影像测量仪显著提高了近红外范围的透射率,在观察工件时,对比度更加突出,更容易进行测量评价。

在透过绝缘层间材料评价SRO、TRACE评价时,NIR光源效果同样有着更为突出的效果。

DAHONG
|白光干涉光学单元
WLI-Unit系列

如果说QV-NIR解决的是内部结构与位置关系,QV-WLI关注的则是表面与微观形貌。QV-WLI通过白光干涉实现非接触3D测量,可用于Via顶部及底部直径、Via深度、铜线宽度、线距、导体厚度,以及表面粗糙度等项目检测。当封装持续细线化、高纵横比化,传统影像边缘检出越来越困难,WLI能为载板表面形貌和细微高度差提供更直观的评价依据。

在ABF载板检测流程中,QV-NIR与QV-WLI并非替代关系,而是互补关系:QV-NIR负责看内部,解决对位与埋入结构识别;QV-WLI负责看表面,解决平面度、孔深、粗糙度和3D形貌分析。二者共同构成从内部到外部的完整无损检测思路。

值得关注的是,还有款集成白光干涉镜头与近红外镜头的QV NIR+WLI载板专用多功能影像仪,可在一台设备上覆盖更全面的ABF载板检测需求。对于进入AI算力供应链的企业来说,测量能力正在成为良率、效率与稳定交付的重要支撑。如果您想了解更多ABF载板、玻璃基板、陶瓷基板、先进封装及精密测量方案相关资讯,欢迎联系宁波大虹交流。
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